產(chǎn)品分類
退火爐是一種用于制造半導(dǎo)體器件的工藝，它包括對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行加熱以影響它們的電性能。對(duì)不同的效果設(shè)計(jì)了熱處理工藝�？赏ㄟ^(guò)加熱晶片來(lái)激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)變?yōu)楸∧せ驅(qū)⒈∧まD(zhuǎn)變?yōu)榫w界面，從而形成致密的薄膜，改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，將摻雜劑從一層轉(zhuǎn)移到另一層，或?qū)诫s劑從一層轉(zhuǎn)移到薄膜或從薄膜進(jìn)入晶片基體。退火爐可以被整合到其他的處理步驟中，比如氧化，或者可以自己處理。退火爐是由專門設(shè)計(jì)用于加熱半導(dǎo)體晶片的設(shè)備組成。退火爐為節(jié)能循環(huán)操作爐，結(jié)構(gòu)超節(jié)能，采用纖維結(jié)構(gòu)，節(jié)電60%。
